単結晶インゴット

公開日：2026年10月9日

読み：タンケッショウインゴット　英語：single-crystal ingot

原子が規則正しく並んだ単結晶のシリコンを、円柱状に成長させた塊。シリコンウェーハの元になる素材。

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単結晶インゴットは、原子が規則正しく並んだ単結晶のシリコンを、円柱状に成長させた塊である。

シリコンウェーハの素材であり、ウェーハ製造の最初の段階で作られる。高純度のシリコンを融かし、種結晶を接触させながらゆっくり引き上げる方法などで育てる。

育てたインゴットは、外形を整えたあと、薄い円板状に切り出される。切り出した円板を研磨するなどして、シリコンウェーハに仕上げる。このウェーハが、成膜やリソグラフィなど、以後の工程の土台となる。