工程の一覧とサプライチェーンマップ
半導体は、材料、設計、前工程、後工程の段階を経て作られます。図の箱は工程で、右の数は掲載している企業の数です。箱を選ぶと、同じページの下にある、その工程の説明と企業の表へ移動します。工程の名前を選ぶと、その工程の解説のページを開けます。
工程の全体図
出典:企業マスタと工程の分類(掲載企業リスト)、SemiCompass。確認
工程ごとの企業
企業は、企業マスタで工程に結び付けている企業です。「準備中」の企業は、詳しい内容をまだ公開していません。
設計
回路設計(設計ツールを含む)
半導体の回路を設計し、製造に使う設計データを作る工程。
フォトマスクの製造
設計データをもとに、露光で使う回路パターンの原版を作る工程。
| 企業名 | 証券コード | 企業区分 | 掲載の状態 |
|---|---|---|---|
| レーザーテック | 6920 | 国内上場企業 | 詳細 |
材料
シリコンウェーハの製造
半導体の材料となる、シリコンの円盤(ウェーハ)を作る工程。
前工程
洗浄
ウェーハの表面から、微粒子や汚れ、不純物を取り除く工程。
| 企業名 | 証券コード | 企業区分 | 掲載の状態 |
|---|---|---|---|
| SCREENホールディングス | 7735 | 国内上場企業 | 詳細 |
| 東京エレクトロン | 8035 | 国内上場企業 | 詳細 |
酸化・拡散
高温でウェーハの表面に酸化膜を作り、不純物を内部に広げる工程。
この工程に結び付けた企業は、まだ掲載していません。
成膜(CVD、PVD、ALD)
ウェーハの上に、絶縁膜や金属膜などの薄い膜を形成する工程。
| 企業名 | 証券コード | 企業区分 | 掲載の状態 |
|---|---|---|---|
| KOKUSAI ELECTRIC | 6525 | 国内上場企業 | 詳細 |
| 東京エレクトロン | 8035 | 国内上場企業 | 詳細 |
リソグラフィ(塗布・露光・現像)
ウェーハに感光材を塗り、露光と現像で回路のパターンを写す工程。
| 企業名 | 証券コード | 企業区分 | 掲載の状態 |
|---|---|---|---|
| 信越化学工業 | 4063 | 国内上場企業 | 詳細 |
| 東京応化工業 | 4186 | 国内上場企業 | 詳細 |
| SCREENホールディングス | 7735 | 国内上場企業 | 詳細 |
| 東京エレクトロン | 8035 | 国内上場企業 | 詳細 |
エッチング
不要な部分の膜を削り取り、回路の形を作る工程。
| 企業名 | 証券コード | 企業区分 | 掲載の状態 |
|---|---|---|---|
| 東京エレクトロン | 8035 | 国内上場企業 | 詳細 |
イオン注入
不純物のイオンをウェーハに打ち込み、電気の性質を変える工程。
この工程に結び付けた企業は、まだ掲載していません。
CMP(平坦化)
薬液と研磨を組み合わせて、ウェーハの表面を平らにする工程。
| 企業名 | 証券コード | 企業区分 | 掲載の状態 |
|---|---|---|---|
| レゾナック・ホールディングス | 4004 | 国内上場企業 | 詳細 |
| 荏原製作所 | 6361 | 総合メーカー | 詳細 |
配線
素子どうしを金属の配線でつなぎ、回路を形作る工程。
この工程に結び付けた企業は、まだ掲載していません。
検査・計測
加工後のウェーハの寸法や欠陥を、検査・測定する工程。
| 企業名 | 証券コード | 企業区分 | 掲載の状態 |
|---|---|---|---|
| レーザーテック | 6920 | 国内上場企業 | 詳細 |
| SCREENホールディングス | 7735 | 国内上場企業 | 詳細 |
後工程
ダイシング
ウェーハを切って、チップ(ダイ)に分ける工程。
ボンディング(ダイボンド、ワイヤボンド)
チップを基板に固定し、細い金属線で端子とつなぐ工程。
| 企業名 | 証券コード | 企業区分 | 掲載の状態 |
|---|---|---|---|
| レゾナック・ホールディングス | 4004 | 国内上場企業 | 詳細 |
パッケージング(封止)
チップを樹脂などで封止し、守って取り扱える形にする工程。
| 企業名 | 証券コード | 企業区分 | 掲載の状態 |
|---|---|---|---|
| レゾナック・ホールディングス | 4004 | 国内上場企業 | 詳細 |
| TOWA | 6315 | 国内上場企業 | 詳細 |
先端パッケージ
複数のチップを積み重ねたり並べたりして、高密度につなぐ工程。
この工程に結び付けた企業は、まだ掲載していません。
最終検査(テスト)
完成したチップが仕様どおり動くかを、電気的に試験する工程。