アニール

公開日：2026年10月18日作成者：hysd（SemiCompass運営者）

ひとことで言うと

ウェーハを加熱して、結晶の乱れを回復させたり、不純物を活性化（働く状態に）したりする処理である。

このページの目次

アニールは、ウェーハを加熱して、結晶の乱れを回復させたり、不純物を働く状態にしたりする熱処理である。

代表的な場面は、イオン注入の後である。打ち込んだ直後は、シリコンの結晶が乱れ、不純物も働かない。加熱すると、原子が動いて結晶が整い、不純物が結晶の中の適切な位置に収まって、電気を流す役目を果たすようになる。成膜した膜を安定させる目的でも行う。

加熱が長いと、不純物が広がって、狙った領域からはみ出す。そのため、できるだけ短い時間で加熱する装置も使われる。加熱の方式には、炉を使うもの、ランプの光を使うもの、レーザーを使うものがある。

理解度チェック

本文の内容から答えられる問いです。答えを選ぶと、正しいかどうかと解説が出ます。

問1

アニールの時間をできるだけ短くしたい理由として、正しいものはどれか。

答えと解説を見る

答え：2. 不純物が広がって、狙った領域からはみ出すのを防ぐため

加熱が長いと、不純物が広がって、狙った領域からはみ出す。そのため、できるだけ短い時間で加熱する。