用語

クリーンルーム

公開日：2026年10月18日作成者：hysd（SemiCompass運営者）

ひとことで言うと

空気中の微粒子や温度、湿度を管理した、半導体の製造に使う部屋である。

このページの目次

クリーンルームは、空気中の微粒子や、温度、湿度を管理した部屋である。半導体の前工程の製造は、この中で行う。

回路は非常に細かいため、空気中の微粒子が一つ付くだけで、回路が切れたり、つながったりして、不良になる場合がある。不良が増えると、歩留まりが下がる。

天井のフィルターで微粒子を除いた空気を、床に向けて流し続け、微粒子を外に押し流す。作業する人は、微粒子を出しにくい防塵服を着る。装置の中や、ウェーハを運ぶ容器の中だけを特に清浄に保つ方式もあり、部屋全体を清浄にする範囲を絞る工夫もある。

理解度チェック

本文の内容から答えられる問いです。答えを選ぶと、正しいかどうかと解説が出ます。

問1

クリーンルームで管理する理由として、正しいものはどれか。

答えと解説を見る

答え：1. 微粒子が付くと、回路の不良につながるため

回路は非常に細かいため、微粒子が一つ付くだけで不良になる場合がある。不良が増えると歩留まりが下がる。