コータ・デベロッパ

公開日：2026年10月9日

読み：コータ・デベロッパ　英語：coater/developer

ウェーハにフォトレジストを塗布し、露光後のレジストを現像してパターンを形づくる装置。

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コータ・デベロッパは、ウェーハにフォトレジストを塗り、露光後に現像する装置である。塗布を行うコータと、現像を行うデベロッパの機能を併せ持つ。

回転するウェーハ上にレジスト液を滴下し、薄く均一な膜にする。塗布の後は加熱処理を行い、溶剤を飛ばして膜を安定させる。

リソグラフィ工程では、露光装置とつないで使われることが多い。露光前にレジストを塗ったウェーハを露光装置へ渡し、露光後のウェーハを受け取る。その後、加熱と現像を行い、回路パターンをレジストに形づくる。