プラズマ

公開日：2026年10月9日

読み：プラズマ　英語：plasma

気体の分子や原子の一部が電離し、電子とイオンに分かれて混在する状態。半導体製造では、エッチングや成膜に使われる。

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プラズマは、気体の分子や原子の一部が電離し、電子とイオンに分かれた状態である。全体としては電気的にほぼ中性で、固体、液体、気体とは別の物質の状態として扱われる。

半導体の製造では、低圧の気体に電界を加えてプラズマを作る。プラズマ中には、反応性の高いラジカルや、電界で加速されるイオンが含まれる。

エッチングでは、これらを使ってウェーハ上の膜を削り、回路のパターンを形作る。成膜では、プラズマを使うCVD（化学気相成長）やスパッタリングで、膜をつける。