RCA洗浄

公開日：2026年10月18日作成者：hysd（SemiCompass運営者）

ひとことで言うと

薬液を順に使い、ウェーハ表面の有機物、微粒子、金属不純物を取り除く洗浄方法である。

このページの目次

RCA洗浄は、複数の薬液を順に使って、ウェーハ表面の有機物、微粒子、金属不純物を取り除く湿式の洗浄方法である。ウェーハ洗浄の基本となる方法で、現在の洗浄は、これをもとに工夫したものが多い。

アンモニアと過酸化水素水を混ぜた薬液で、有機物と微粒子を除く。次に、塩酸と過酸化水素水を混ぜた薬液で、金属不純物を除く。それぞれの薬液の後に、超純水ですすぐ。

ウェーハの表面に汚れが残ると、回路の不良につながり、歩留まりが下がる。そのため、成膜や熱処理など、汚れを嫌う工程の前に、洗浄を行う。

理解度チェック

本文の内容から答えられる問いです。答えを選ぶと、正しいかどうかと解説が出ます。

問1

RCA洗浄で、塩酸と過酸化水素水を混ぜた薬液が主に除くものはどれか。

答えと解説を見る

答え：1. 金属不純物

アンモニアと過酸化水素水を混ぜた薬液で有機物と微粒子を除き、塩酸と過酸化水素水を混ぜた薬液で金属不純物を除く。