ウェットエッチング

公開日：2026年10月17日作成者：hysd（SemiCompass運営者）

ひとことで言うと

薬液に浸すか吹き付けて、ウェーハ上の膜を溶かして取り除くエッチングである。

このページの目次

ウェットエッチングは、薬液にウェーハを浸す、または薬液を吹き付けて、膜を溶かして取り除く方式のエッチングである。

薬液は、膜の種類ごとに選ぶ。目的の膜だけを溶かし、下地やレジストを溶かしにくい薬液を選べば、狙った膜だけを取り除ける。この性質を選択性という。

薬液による反応は、深さ方向だけでなく横方向にも進む。そのため、レジストの下に潜り込むように削れ、微細なパターンの形成には向かない。装置が比較的単純で、膜を全面にわたって除く工程や、洗浄の工程で使われる。

理解度チェック

本文の内容から答えられる問いです。答えを選ぶと、正しいかどうかと解説が出ます。

問1

ウェットエッチングが微細なパターンの形成に向かない理由はどれか。

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答え：3. 薬液による反応が横方向にも進み、レジストの下に潜り込むように削れるため

薬液による反応は深さ方向だけでなく横方向にも進む。そのため、レジストの下に潜り込むように削れ、微細なパターンには向かない。