ダイシングブレード

公開日：2026年10月9日

読み：ダイシングブレード　英語：dicing blade

ウェーハを個々のチップに切り分けるダイシング工程で使う、高速で回転する薄い円盤状の刃。

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ダイシングブレードは、ウェーハを個々のチップに切り分けるダイシング工程で使う刃である。薄い円盤状で、高速に回転させながらウェーハに当てて削り切る。

刃は、硬い砥粒を結合材で固めた構造が基本である。切断部には水を流し、冷却と切りくずの除去を行う。レーザーなど、刃を使わない切断方法もある。

切断は、チップどうしの間に設けた切りしろに沿って行う。回路形成を終えたウェーハを切り分け、後の組立工程へ進めるために使う。刃の摩耗や、切断面の欠けの抑制が管理上の課題となる。