公開日:2026年10月9日
読み:プロセスノード・ビサイカ 英語:process node 別の表記:テクノロジーノード
半導体の製造技術の世代を表す呼び方と、回路のパターンを小さくしていく微細化の取り組みを指す用語。
プロセスノードは、半導体の製造技術の世代を表す呼び方である。回路を構成するトランジスタや配線の大きさと、それを作る製造技術の水準を、まとめて示す指標として使われる。
微細化は、回路のパターンを小さくしていく取り組みである。同じ面積のチップに、より多くのトランジスタを載せられる。性能の向上や消費電力の低減につながりやすい。
微細化は、リソグラフィで小さなパターンを描く技術と、エッチングや成膜で小さな構造を加工する技術の進歩によって進む。なお、世代の呼称は、特定の実際の寸法をそのまま表すとは限らない。
工程:リソグラフィ(塗布・露光・現像)工程:エッチング工程:成膜(CVD、PVD、ALD)
関係する用語:EDA(設計ツール)、EUV露光、露光装置、ファウンドリ