走査型電子顕微鏡

公開日：2026年10月17日作成者：hysd（SemiCompass運営者）

ひとことで言うと

細く絞った電子ビームで試料の表面を走査し、出てくる電子から像を作る顕微鏡である。

このページの目次

走査型電子顕微鏡（SEM）は、Scanning Electron Microscope の略で、細く絞った電子ビームで試料の表面を走査し、出てくる電子から像を作る顕微鏡である。

光ではなく電子を使うため、光学顕微鏡では見えない細かさの形を観察できる。電子ビームを当てると、試料の表面から二次電子などが出る。その量を検出して、場所ごとの明るさの違いとして像にする。電子が空気に邪魔されないように、試料は真空の中に置く。

半導体の製造では、ウェーハ上に作ったパターンの形や寸法を調べるために使う。露光やエッチングの後に、パターンが設計どおりに仕上がっているかを確かめる。パターンの線幅を測ることに特化した装置を、測長SEMという。ほかに、欠陥の観察や、チップを切断した断面の観察にも使われる。

理解度チェック

本文の内容から答えられる問いです。答えを選ぶと、正しいかどうかと解説が出ます。

問1

半導体の製造で、走査型電子顕微鏡（SEM）が使われる場面として、正しいものはどれか。

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答え：2. 露光やエッチングの後に、パターンの形や寸法を調べる

SEMは、ウェーハ上に作ったパターンの形や寸法を調べるために使う。露光やエッチングの後に、設計どおりに仕上がっているかを確かめる。