半導体テスタ

公開日：2026年10月9日

読み：ハンドウタイテスタ　別の表記：LSIテスタ、ATE

半導体チップに電気信号を与え、動作や電気的特性が仕様どおりかを調べて良否を判定する検査装置。

このページの目次

半導体テスタは、半導体チップが設計どおりに動作するかを、電気信号を与えて調べる検査装置である。

テスト用の信号を検査対象のチップに入力し、出力が期待値と一致するかを判定する。電圧や電流などの電気的特性も測定する。

ウェーハの状態では、プローバと組み合わせてチップごとに検査する。パッケージング後の最終検査では、搬送装置と組み合わせて製品を検査する。

検査結果は良品と不良品の選別に使われ、歩留まりを把握する材料にもなる。