プローバ

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読み:プローバ 英語:wafer prober 別の表記:ウェーハプローバ

ウェーハ上のチップの電極に探針を接触させ、電気的特性を測る検査のために、ウェーハを位置合わせして移動させる装置。

このページの目次
  1. 関係する工程と企業
  2. 出典

プローバは、ウェーハ上に作り込まれた多数のチップを、ウェーハのまま電気的に測定するための装置である。

ウェーハを載せた台を動かし、チップごとに位置を合わせる。プローブカードの探針を、チップの電極パッドに接触させる。測定そのものは半導体テスタ(電気的特性を測る試験装置)が行い、プローバは接触と位置決めを担う。

測定の結果から、良品と不良品を区別する。この選別検査はウェーハテストと呼ばれ、ダイシング(チップへの切り分け)の前に行う。不良のチップを後の工程に進めないようにでき、歩留まりの把握にも使われる。

工程:最終検査(テスト)工程:ダイシング

関係する用語:半導体テスタ、シリコンウェーハ、歩留まり

出典