プローバは、ウェーハ上に作り込まれた多数のチップを、ウェーハのまま電気的に測定するための装置である。
ウェーハを載せた台を動かし、チップごとに位置を合わせる。プローブカードの探針を、チップの電極パッドに接触させる。測定そのものは半導体テスタ(電気的特性を測る試験装置)が行い、プローバは接触と位置決めを担う。
測定の結果から、良品と不良品を区別する。この選別検査はウェーハテストと呼ばれ、ダイシング(チップへの切り分け)の前に行う。不良のチップを後の工程に進めないようにでき、歩留まりの把握にも使われる。