点欠陥:温度で決まる、結晶の中の空孔の数
公開日:作成者:hysd(SemiCompass運営者)
結晶から原子が1個抜けた空孔などの点欠陥が、温度に応じて平衡でどれだけ存在するかを、形成エネルギーを含む指数の式で読む。高温で数が桁で増えることを、形成エネルギー1 eVの例で確かめる。シリコンの数値が定まっていない点にも触れる。
空孔は、温度が高いほど桁で増える
- 空孔の模式図原子が1個抜けた席
- 空孔の割合(仮定の値)300 Kから1,500 Kで、約13桁増える
式
は、
は、
式のどこを見るか
見るのは、
この
が
シリコンでは、
ただし、
数値例
単純な
割合 は、300 K
融点の
この
基礎編のどこに効くか
- 結晶の乱れ:欠陥と不純物:原子が抜けた欠陥が、温度で増える仕組みが読める。
- シリコンと単結晶:インゴットができるまで:完全に見える結晶にも、熱で一定の欠陥が必ず含まれることが分かる。
- 性質を作り込む:イオン注入と熱処理:高温の熱処理で、原子が動きやすくなる背景が読める。
理解度チェック
本文の内容から答えられる問いです。答えを選ぶと、正しいかどうかと解説が出ます。
問1
温度を
答えと解説を見る
答え:2. 指数関数の
割合は
問2
形成エンタルピー HF が
答えと解説を見る
答え:1. 小さい
HF は
出典
- 2. Properties of Point Defects(外部サイト)キール大学(Föll ほか、Defects in Crystals)確認日:
- 2.3. Point Defects in Semiconductors like Silicon(外部サイト)キール大学(Föll ほか、Defects in Crystals)確認日:
- CODATA Recommended Values of the Fundamental Physical Constants: 2018(NIST SP 961)(外部サイト)米国国立標準技術研究所(NIST)確認日: