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前工程装置13種の市場を25年で比べると何が見えるか

公開日：分類：供給・需要作成者：hysd（SemiCompass運営者）

元記事

生成AIは前工程装置市場をどう変えた？ ――各装置の明暗と「After AI」の行方：湯之上隆のナノフォーカス（96）EE Times Japan、

このページの目次
  1. 何が起きたか
  2. なぜ重要か
  3. 関係する企業・工程とサプライチェーン上の位置
  4. 関係する企業・工程
  5. 出典

何が起きたか

湯之上隆氏（微細加工研究所）は、前工程装置13種類の市場を1995〜2025年で分析した。2025年の市場規模は、露光装置が277.6億米ドルで最大だった。次いでドライエッチング装置が209.3億米ドル、外観検査装置が164.9億米ドル、CVD（化学気相成長）装置が139.6億米ドルである[1]。

2000年を1とした2025年の倍率は、枚葉式洗浄装置が12.2倍、マスク検査装置が11.2倍だった。バッチ式洗浄装置は0.8倍に縮んだ。装置市場全体は、25年間で約3.0倍になった[1]。

なぜ重要か

差が出た理由の一つは、メモリの構造変化である。2015年ごろから3D NANDの量産が本格化し、深い孔や溝を削るドライエッチング装置の市場が急拡大した。2022年ごろまで、露光装置と首位を競い合った[1]。

ドライエッチングは、プラズマ中のイオンを電界で引き込み、真下方向に削る方式である。細く深い形を作れるので、3D NANDに向く。

2023年にはメモリ不況でエッチング装置が落ち込んだ。一方、EUV（極端紫外線）露光装置の普及で露光装置は伸び、差が開いた[1]。

倍率の上位3種は、枚葉式洗浄、マスク検査、パタンウエハー検査の各装置である。いずれもパタンを作らず、粒子を取り除くか、欠陥を見つける装置だ。回路が細かく立体的になるほど、良品の割合を保つ装置の役割が増したと筆者は見ている[1]。

倍率は2000年を基準にした比であり、金額の大小とは別の指標である。

関係する企業・工程とサプライチェーン上の位置

資料に日本企業の名前は出ない。この分析が扱うのは、前工程の各装置である。露光装置はリソグラフィ、ドライエッチング装置はエッチング、CVD装置は成膜に当たる。洗浄装置は洗浄、外観検査装置とパタンウエハー検査装置、CD-SEM（測長SEM）は検査・計測、マスク検査装置はフォトマスクの製造に関わる[1]。

工程：洗浄工程：検査・計測工程：リソグラフィ（塗布・露光・現像）工程：エッチング工程：成膜（CVD、PVD、ALD）工程：フォトマスクの製造

出典

  1. 生成AIは前工程装置市場をどう変えた？ ――各装置の明暗と「After AI」の行方：湯之上隆のナノフォーカス（96）EE Times Japan公表日：