液浸露光

公開日：2026年10月18日作成者：hysd（SemiCompass運営者）

ひとことで言うと

露光装置のレンズとウェーハの間を液体で満たし、より細かいパターンを写す露光方式である。

このページの目次

液浸露光は、露光装置のレンズとウェーハの間を液体で満たして、露光する方式である。液体には、超純水を使う。

光は、屈折率の高い物質の中を進むと、波長が短くなったのと同じように働く。空気に比べて屈折率の高い液体を、レンズとウェーハの間に入れると、同じ光源でも、より細かいパターンを写せる。

液体の中に気泡や異物があると、パターンの欠陥になる。そのため、液体の流れや、ウェーハの動きを厳密に制御する。EUV露光より前の世代の微細化では、この方式が使われた。

理解度チェック

本文の内容から答えられる問いです。答えを選ぶと、正しいかどうかと解説が出ます。

問1

液浸露光で、レンズとウェーハの間に液体を満たす目的はどれか。

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答え：2. 液体の屈折率を利用して、より細かいパターンを写すため

空気に比べて屈折率の高い液体を入れると、同じ光源でも、より細かいパターンを写せる。